Gases electrónicos
Los gases utilizados en la industria de semiconductores se denominan colectivamente gases electrónicos. Según sus categorías, se pueden dividir en tres categorías: gas puro, gas de alta pureza y gas de material especial para semiconductores. El gas de material especial se utiliza principalmente para procesos de epitaxia, dopaje y grabado; el gas de alta pureza se utiliza principalmente como gas diluyente y gas portador. El gas electrónico es una rama importante de los gases especiales.
