Электронные газы

Газы, используемые в полупроводниковой промышленности, в совокупности называются электронными газами. В зависимости от их категорий их можно разделить на три категории: чистый газ, газ высокой чистоты и газ для специальных полупроводниковых материалов. Газ для специальных материалов в основном используется для процессов эпитаксии, легирования и травления; газ высокой чистоты в основном используется в качестве разбавителя и газа-носителя. Электронный газ является важной ветвью специального газа.