Elektronik gazlar

Yarı iletken endüstrisinde kullanılan gazlar toplu olarak elektronik gazlar olarak adlandırılır. Kategorilerine göre üç kategoriye ayrılabilirler: saf gaz, yüksek saflıkta gaz ve yarı iletken özel malzeme gazı. Özel malzeme gazı esas olarak epitaksi, doping ve aşındırma işlemlerinde kullanılır; yüksek saflıkta gaz esas olarak seyreltici gaz ve taşıyıcı gaz olarak kullanılır. Elektronik gaz, özel gazın önemli bir dalıdır.