0102030405
Tungsten Heksaflorür WF6 Elektronik Gaz
Tanım
Tungsten hekzaflorür, kimyasal formülü WF6 olan, oda sıcaklığında ve basıncında renksiz bir gaz olan ve çoğu organik çözücüde çözünen inorganik bir bileşiktir.
Ürün İçeriği
Şartname | %99,999 | ||
CF4 |
| K | ≤5ppb |
O2 |
| Mn | ≤10ppb |
N2 | <1 sayfa/dakika | O | ≤5ppb |
Ortak | <0,5ppm | Th | ≤0,1ppb |
CO2 | <0,5ppm | İle ilgili | ≤10ppb |
SiF4 | <0,5ppm | O | ≤10ppb |
SF6 | <0,5ppm | İÇİNDE | ≤0,05ppb |
Yüksek frekans | <ppm | Çinko | ≤10ppb |
Al | ≤10ppb | Ve | ≤10ppb |
Gibi | ≤10ppb | Kurşun | ≤10ppb |
B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
O | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
CD | ≤2ppb | İçinde | ≤20ppb |
Cr | ≤10ppb | İle | ≤5ppb |
Fe | ≤10ppb | İçin | ≤10ppb |
Diğer metallerin toplam safsızlıkları | ≤500 |
Paketleme ve Kargolama
Ürün | Tungsten hekzaflorür WF6 | ||
Paket Boyutu | 10Ltr Silindir | 50Ltr Silindir | / |
Dolum Net Ağırlığı/Silindir | 15 KG | 50 kg | |
20'lik Konteynere Yüklenen Miktar | 500Silindir | 200Silindir | |
Silindir Tara Ağırlığı | 14 kg | 55 kg | |
Vana | CGA638 |
Tipik Uygulama
Tungsten florür (WF6), tek kararlı ve endüstriyel olarak üretilen tungsten florür çeşididir. Esas olarak elektronik endüstrisinde tungsten metal kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi için bir ham madde olarak kullanılır ve ondan yapılan WSi2, büyük ölçekli entegre devrelerde (LSI) bir kablolama malzemesi olarak kullanılabilir ve ayrıca yarı iletken elektrotlar, florlama maddeleri, polimerizasyon katalizörleri ve optik malzemeler için bir ham madde olarak kullanılabilir. WF6'nın elektronik olmayan uygulamaları: Tungsten, çeliğin yüzey özelliklerini iyileştirmek için CVD teknolojisi ile çeliğin yüzeyinde tungsten karbür üretmek için sertleştirilebilir ve ayrıca tungsten borular ve potalar gibi belirli tungsten bileşenlerini üretmek için de kullanılabilir.