Gases electrónicos
Los gases utilizados en la industria de semiconductores se denominan colectivamente gases electrónicos. Según sus categorías, se dividen en tres: gas puro, gas de alta pureza y gas para materiales especiales de semiconductores. El gas para materiales especiales se utiliza principalmente en procesos de epitaxia, dopaje y grabado; el gas de alta pureza se utiliza principalmente como gas diluyente y gas portador. El gas electrónico es una rama importante de los gases especiales.
