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Gas trifluoruro de nitrógeno NF3
Descripción del Producto
El trifluoruro de nitrógeno es un compuesto inorgánico con la fórmula química NF₃. Es un gas incoloro a temperatura y presión ambiente, insoluble en agua, un oxidante fuerte pero con propiedades químicas muy estables. Es un excelente gas de grabado de plasma en la industria microelectrónica y también puede utilizarse como combustible de alta energía.
Aplicación típica
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Fabricación de semiconductoresEn la fabricación de transistores, circuitos integrados y otros dispositivos, el trifluoruro de nitrógeno se utiliza para limpiar la superficie de las obleas de silicio, eliminar impurezas orgánicas e inorgánicas y garantizar que la superficie sea plana y limpia. -
Procesamiento de metalesEl trifluoruro de nitrógeno se puede utilizar para la limpieza y preparación de recubrimientos de superficies metálicas. Elimina eficazmente la grasa y los óxidos de la superficie metálica, lo que reduce la dificultad del procesamiento posterior. -
Láseres químicos de alta energíaEn los campos de investigación científica y militar, el trifluoruro de nitrógeno se utiliza como fuente de flúor en láseres químicos de alta energía. -
Industria solar fotovoltaicaEl trifluoruro de nitrógeno de alta pureza desempeña un papel en la producción de células solares de película fina de silicio, especialmente en la fabricación de células solares de película fina de silicio amorfo.
Contenido del producto
Especificación | 99,99% | 99,999% |
Tetrafluoruro de carbono | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Nitrógeno | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Oxígeno + Argón | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Monóxido de carbono | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Dióxido de carbono | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Óxido nitroso | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Hexafluoruro de azufre | ≤3 ppmv | ≤2 ppmv |
Humedad | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Expresarse como HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Paquete y envío
Producto | Trifluoruro de nitrógeno NF3 | |
Tamaño del embalaje | Cilindro de 47 litros | Cilindro Y-440Ltr |
Peso neto de llenado/cilindro | 20 kilogramos | 200 kilogramos |
Cantidad cargada en contenedor de 20' | 200 cilindros | 6 cilindros |
Peso neto total | 4 toneladas | 1,2 toneladas |
Peso tara del cilindro | 52 kilogramos | 680 kilogramos |
Válvula | CGA330/DISS640 | |
