گاز نیتروژن تری فلوئورید NF3

مشخصات

۹۹.۹۹٪

۹۹.۹۹۹٪

تترافلورید کربن

≤40ppmv

≤20ppmv

نیتروژن

≤10ppmv

≤50ppmv

اکسیژن + آرگون

≤5ppmv

≤3ppmv

مونوکسید کربن

≤1ppmv

≤1ppmv

دی اکسید کربن

≤3ppmv

≤0.5ppmv

اکسید نیتروژن

≤3ppmv

≤1ppmv

هگزافلورید گوگرد

≤3ppmv

≤2ppmv

رطوبت

≤1ppmv

≤1ppmv

اکسپرس به صورت HF

≤1ppmv

≤1ppmv

محصول

نیتروژن تری فلوئورید NF3

اندازه بسته بندی

سیلندر ۴۷ لیتری

سیلندر Y-440Ltr

وزن خالص پر کردن/سیلندر

20 کیلوگرم

۲۰۰ کیلوگرم

تعداد بارگیری شده در کانتینر 20'

۲۰۰ سیلندر

۶ سیلندر

وزن خالص کل

۴ تن

۱.۲ تن

وزن خالص سیلندر​

۵۲ کیلوگرم

۶۸۰ کیلوگرم

شیر

CGA330/DISS640