گاز مخلوط ۲۰٪ سیلان ۸۰٪ نیتروژن

کامپوننت

سیلان ۹۹.۹۹۹۹٪

نیتروژن ۹۹.۹۹۹۹٪

اکسیژن + آرگون

≤0.1ppmv

≤0.1ppmv

نیتروژن

≤0.1ppmv

≥۹۹.۹۹۹۹٪

هیدروژن

≤20ppmv

≤0.1ppmv

هلیوم

≤10ppmv

/

CO+CO2

≤0.1ppmv

≤0.2ppmv

تی اچ سی

≤0.1ppmv

≤0.1ppmv

کلروسیلان‌ها

≤0.1ppmv

/

دی سیلوکسان

≤0.1ppmv

/

سرخوردگی

≤0.1ppmv

/

رطوبت (H2O)

≤0.1ppmv

≤0.5ppmv

محصول

سیلان در گازهای مخلوط نیتروژن

اندازه بسته

سیلندر ۴۰ لیتری

سیلندر ۴۷ لیتری

سیلندر ۵۰ لیتری

فشار پر کردن/سیلندر

80 بار

80 بار

80 بار

تعداد بارگیری شده در کانتینر 20'

۱۶۰ سیلندر

۱۶۰ سیلندر

۱۶۰ سیلندر

حجم خالص کل

۵۱۲ متر مکعب

۶۰۱.۶ متر مکعب

۶۴۰ متر مکعب

وزن خالص سیلندر

۵۰ کیلوگرم

۵۵ کیلوگرم

۵۵ کیلوگرم

شیر

سی‌جی‌ای۳۵۰