Gaz électroniques
Les gaz utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs sont collectivement appelés gaz électroniques. On les divise en trois catégories : les gaz purs, les gaz de haute pureté et les gaz pour matériaux spéciaux de semi-conducteurs. Ces derniers sont principalement utilisés pour l'épitaxie, le dopage et la gravure ; les gaz de haute pureté servent principalement de diluants et de gaz vecteurs. Les gaz électroniques constituent une branche importante des gaz spéciaux.
