Trifluorure d'azote (NF₃) : une importante expansion des capacités témoigne d'une croissance de la demande
InvestissementNONdéliciment :Gaz Heyuan du Hubei CoLa société ., Ltd. a annoncé le 3 mars 2026 un développement important dans le domaine des gaz spéciaux pour l'électronique, prévoyant d'investir684 millions de yensagrandir son parc industriel de gaz spéciaux et de matériaux fonctionnels électroniques de Yichang avec un4 500 tonnes/an de qualité électronique trifluorure d'azote (NF₃) projet.
Structure du projet :L'agrandissement sera réalisé en deux phases sur trois ans :
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Phase I: 3 000 tonnes/an NF₃ installation de production, systèmes de stockage et de remplissage, et infrastructures de soutien
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Phase II1 500 tonnes/an NF₃ (combinée à l'installation existante de 500 t/an pour atteindre une capacité totale de 2 000 t/an)
Application du produit :Niveau électronique trifluorure d'azote est un excellent gaz de gravure plasma largement utilisé dans la fabrication de microélectronique, offrant des vitesses de gravure et une sélectivité avantageuses. Il est essentiel pour :
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Production de semi-conducteurs
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fabrication d'écrans plats
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Fabrication de cellules photovoltaïques
Projections financières :Selon l'étude de faisabilité, le projet présente un taux de rentabilité estimé à24,50%avec une période de retour sur investissement de5,27 ans(après impôts, période de construction comprise) .
Contexte stratégique :Cette extension s'appuie sur l'infrastructure existante du parc industriel couvrant 880 mu (environ 58,7 hectares), qui produit divers gaz spéciaux pour l'électronique, notamment :
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Hexafluorure de tungstène (WF₆)
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Silane et disilane
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Nouveaux matériaux fonctionnels à base de silicone
Dispositifs de sécurité :Le projet comprend une automatisation avancée avec un système de contrôle distribué (DCS) intégré à des détecteurs de gaz combustibles et toxiques dans toute l'installation, permettant une surveillance en temps réel avec des capacités d'ajustement automatique lorsque les conditions de fonctionnement deviennent anormales.











