Qu'est-ce qu'un gaz contenant du fluor ? Quels sont les gaz spéciaux contenant du fluor les plus courants ?
Les gaz spéciaux électroniques (appelés « gaz spéciaux électroniques ») constituent une branche importante des gaz spéciaux. Ils sont présents dans presque tous les aspects des semi-conducteurs.CoLa production d'inducteurs est essentielle, car ils constituent des matières premières indispensables à la fabrication de composants électroniques tels que les circuits intégrés à très grande échelle, les écrans plats et les cellules solaires.
Dans le secteur des semi-conducteurs, les gaz fluorés sont largement utilisés. Sur le marché mondial actuel des gaz électroniques, ils représentent environ 30 % du total. Ces gaz constituent un composant important des gaz électroniques spéciaux utilisés dans le domaine des matériaux d'information électronique. Ils servent principalement d'agents de nettoyage et de gravure, mais peuvent également être utilisés comme dopants, agents de formation de couches minces, etc. Cet article présente les gaz fluorés les plus courants.
Voici quelques gaz fluorés couramment utilisés
(1) Trifluorure d'azote (NF3): un gaz utilisé pour le nettoyage et l'élimination des dépôts, généralement utilisé pour nettoyer les chambres de réaction et les surfaces des équipements.
(2) Hexafluorure de soufre (SF6): utilisé comme agent de fluoration dans le processus de dépôt d'oxyde, et comme gaz isolant pour le remplissage de milieux isolants.
(3) Fluorure d'hydrogène (HF): utilisé pour éliminer les oxydes de la surface du silicium et comme agent de gravure pour graver le silicium et d'autres matériaux.
(4) Fluorure d'azote (NF): utilisé pour graver des matériaux tels que le nitrure de silicium (SiN) et le nitrure d'aluminium (AlN).
(5) Trifluorométhane (CHF3) et le tétrafluorométhane (CF4) : utilisé pour graver les matériaux fluorés, tels que le fluorure de silicium et le fluorure d'aluminium.
Cependant, les gaz contenant du fluor présentent certains dangers, notamment la toxicité, la corrosivité, l'inflammabilité, etc.
(1) ToxicitéCertains gaz fluorés sont toxiques, comme le fluorure d'hydrogène (HF). Ses vapeurs sont fortement irritantes pour la peau et les voies respiratoires et sont nocives pour la santé humaine.
(2) CorrosivitéL’acide fluorhydrique et certains composés fluorés sont très corrosifs et peuvent causer de graves dommages à la peau, aux yeux et aux voies respiratoires.
(3) CombustibilitéCertains fluorures sont inflammables et réagissent avec l'oxygène ou l'eau de l'air pour libérer une chaleur intense et des gaz toxiques, ce qui peut provoquer des incendies ou des explosions.
(4) Danger de haute pressionCertains gaz fluorés présentent des risques d'explosion sous haute pression et nécessitent des précautions particulières lors de leur utilisation et de leur stockage.
(5) Impact sur l'environnementLes gaz contenant du fluor ont une durée de vie atmosphérique et une valeur de PRG élevées, ont un effet destructeur sur la couche d'ozone atmosphérique et peuvent entraîner un réchauffement climatique et une pollution environnementale.
L'utilisation des gaz dans des secteurs émergents tels que l'électronique se développe considérablement, engendrant une forte demande en gaz industriels. Grâce à l'importante capacité de production de composants électroniques majeurs, comme les semi-conducteurs et les écrans, qui sera développée en Chine continentale dans les prochaines années, et à la forte demande de substitution des importations de matériaux chimiques pour l'électronique, le secteur chinois des gaz pour l'électronique connaîtra une forte croissance.