Trifluorure d'azote NF3 gazeux

N° CAS : 7783-54-2

Numéro EINECS : 232-007-1

Numéro ONU : UN2451

Classe DOT : 2.2 et 5.1

Pureté : 99,99 % à 99,999 %

Conditionnement standard : cylindre de 40 L, 47 L et Y-440 L

Masse moléculaire : 71,0019 g/mol

Densité : 2,96 kg/m³

Propriétés chimiques : Gaz ininflammable, agent comburant

Qualité standard : Qualité industrielle, Qualité électronique

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détails du produit

Description du produit

Le trifluorure d'azote est un composé inorganique de formule chimique NF₃. C'est un gaz incolore à température et pression ambiantes, insoluble dans l'eau, un oxydant puissant mais doté de propriétés chimiques très stables. Il est utilisé comme excellent gaz de gravure plasma dans l'industrie microélectronique et peut également servir de combustible à haute énergie.

Application typique

Fabrication de semi-conducteurs

Dans la fabrication des transistors, des circuits intégrés et autres dispositifs, le trifluorure d'azote est utilisé pour nettoyer la surface des plaquettes de silicium, éliminer les impuretés organiques et inorganiques et garantir une surface plane et propre.
Traitement des métaux

Le trifluorure d'azote peut être utilisé pour le nettoyage et la préparation des surfaces métalliques par revêtement. Il permet d'éliminer efficacement les huiles et les oxydes présents à la surface du métal, facilitant ainsi les traitements ultérieurs.
Lasers chimiques à haute énergie

Dans les domaines militaire et de la recherche scientifique, le trifluorure d'azote est utilisé comme source de fluor dans les lasers chimiques à haute énergie.
Industrie photovoltaïque solaire

Le trifluorure d'azote de haute pureté joue un rôle dans la production de cellules solaires en silicium à couches minces, notamment dans la fabrication de cellules solaires en silicium amorphe à couches minces.

Oxydant

Dans les technologies minières et spatiales, le trifluorure d'azote peut être utilisé comme oxydant pour améliorer l'efficacité de combustion du carburant.

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Contenu du produit

Spécification	99,99%	99,999%
tétrafluorure de carbone	≤40 ppmv	≤20 ppmv
Azote	≤10 ppmv	≤50 ppmv
Oxygène + Argon	≤5 ppmv	≤3 ppmv
Monoxyde de carbone	≤1 ppmv	≤1 ppmv
dioxyde de carbone	≤3 ppmv	≤0,5 ppmv
Oxyde nitreux	≤3 ppmv	≤1 ppmv
hexafluorure de soufre	≤3 ppmv	≤2ppmv
Humidité	≤1 ppmv	≤1 ppmv
Exprimé en HF	≤1 ppmv	≤1 ppmv

Colis et expédition

Produit	Trifluorure d'azote NF3
Taille de l'emballage	Cylindre de 47 litres	Cylindre Y-440L
Poids net de remplissage/cylindre	20 kg	200 kg
Quantité chargée dans un conteneur de 20 pieds	200 cylindres	6 cylindres
Poids net total	4 tonnes	1,2 tonne
Poids à vide du cylindre	52 kg	680 kg
Soupape	CGA330/DISS640