Elektronische gassen

Gassen die in de halfgeleiderindustrie worden gebruikt, worden gezamenlijk aangeduid als elektronische gassen. Ze kunnen worden onderverdeeld in drie categorieën: zuiver gas, hoogzuiver gas en speciaal halfgeleidermateriaalgas. Speciaal materiaalgas wordt voornamelijk gebruikt voor epitaxie-, doterings- en etsprocessen; hoogzuiver gas wordt voornamelijk gebruikt als verdunningsgas en draaggas. Elektronisch gas is een belangrijke tak van speciaal gas.