Stikstoftrifluoride NF3-gas
Productomschrijving
Stikstoftrifluoride is een anorganische verbinding met de chemische formule NF3. Het is een kleurloos gas bij kamertemperatuur en -druk, onoplosbaar in water, een sterk oxidatiemiddel maar met zeer stabiele chemische eigenschappen. Het is een uitstekend plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie en kan ook worden gebruikt als hoogenergetische brandstof.
Typische toepassing
-
HalfgeleiderproductieBij de productie van transistors, geïntegreerde schakelingen en andere apparaten wordt stikstoftrifluoride gebruikt om het oppervlak van siliciumwafers te reinigen, organische en anorganische onzuiverheden te verwijderen en ervoor te zorgen dat het oppervlak vlak en schoon is. -
MetaalbewerkingStikstoftrifluoride kan worden gebruikt voor het reinigen en coaten van metalen oppervlakken. Het verwijdert effectief olie en oxiden van het metaaloppervlak, waardoor de verdere verwerking minder lastig wordt. -
Hoogenergetische chemische lasersOp militair en wetenschappelijk gebied wordt stikstoftrifluoride gebruikt als fluorbron in chemische lasers met hoge energie. -
Zonne-energie-industrieStikstoftrifluoride met een hoge zuiverheidsgraad speelt een rol bij de productie van dunnefilmzonnecellen van silicium, met name bij de vervaardiging van dunnefilmzonnecellen van amorf silicium.
Productinhoud
Specificatie | 99,99% | 99,999% |
Koolstoftetrafluoride | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Stikstof | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Zuurstof + Argon | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Koolmonoxide | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Koolstofdioxide | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Lachgas | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Zwavelhexafluoride | ≤3 ppmv | ≤2 ppmv |
Vocht | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Uitdrukken als HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Verpakking & Verzending
Product | Stikstoftrifluoride NF3 | |
Verpakkingsgrootte | 47Ltr cilinder | Y-440Ltr cilinder |
Vulgewicht netto/cilinder | 20 kg | 200 kg |
Aantal geladen in 20'-container | 200 cilinders | 6 cilinders |
Totaal nettogewicht | 4 ton | 1,2 ton |
Cilinder leeggewicht | 52 kg | 680 kg |
Ventiel | CGA330/DISS640 | |





















