Stikstoftrifluoride NF3-gas
Productbeschrijving
Stikstoftrifluoride is een anorganische verbinding met de chemische formule NF3. Het is een kleurloos gas bij kamertemperatuur en -druk, onoplosbaar in water, een sterke oxidator maar met zeer stabiele chemische eigenschappen. Het is een uitstekend plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie en kan ook worden gebruikt als energierijke brandstof.
Typische toepassing
-
HalfgeleiderproductieBij de productie van transistors, geïntegreerde schakelingen en andere componenten wordt stikstoftrifluoride gebruikt om het oppervlak van siliciumwafers te reinigen, organische en anorganische onzuiverheden te verwijderen en ervoor te zorgen dat het oppervlak vlak en schoon is. -
MetaalbewerkingStikstoftrifluoride kan worden gebruikt voor het reinigen en coaten van metalen oppervlakken. Het verwijdert effectief olie en oxiden van het metalen oppervlak, waardoor de daaropvolgende verwerking eenvoudiger wordt. -
Hoogenergetische chemische lasersIn de militaire en wetenschappelijke onderzoekswereld wordt stikstoftrifluoride gebruikt als fluorbron in hoogenergetische chemische lasers. -
Zonne-energie fotovoltaïsche industrieHoogzuiver stikstoftrifluoride speelt een rol bij de productie van dunnefilm-siliciumzonnecellen, met name bij de fabricage van amorfe silicium-dunnefilmzonnecellen.
Productinhoud
Specificatie | 99,99% | 99,999% |
Koolstoftetrafluoride | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Stikstof | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Zuurstof + Argon | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Koolmonoxide | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Koolstofdioxide | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Lachgas | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Zwavelhexafluoride | ≤3 ppmv | ≤2 ppmv |
Vocht | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Uitdrukken als HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Verpakking en verzending
Product | Stikstoftrifluoride NF3 | |
Verpakkingsgrootte | 47 liter cilinder | Y-440Ltr cilinder |
Netto vulgewicht/cilinder | 20 kg | 200 kg |
Aantal geladen in 20-voets container | 200 cilinders | 6 cilinders |
Totaal nettogewicht | 4 ton | 1,2 ton |
Leeggewicht van de cilinder | 52 kg | 680 kg |
Ventiel | CGA330/DISS640 | |












