Газҳои электронӣ

Газҳое, ки дар саноати нимноқилҳо истифода мешаванд, дар маҷмӯъ газҳои электронӣ номида мешаванд. Аз рӯи категорияҳои худ онҳоро ба се категория тақсим кардан мумкин аст: гази тоза, гази баландсифат ва гази махсуси нимноқил. Гази махсуси моддӣ асосан барои равандҳои эпитаксия, допинг ва etching истифода мешавад; гази тозаи баланд асосан ҳамчун гази ҳалкунанда ва гази интиқолдиҳанда истифода мешавад. Гази электронӣ як бахши муҳими гази махсус мебошад.