Elektronik gazlar

Yarı iletken endüstrisinde kullanılan gazlar, topluca elektronik gazlar olarak adlandırılır. Kategorilerine göre üç alt kategoriye ayrılabilirler: saf gaz, yüksek saflıkta gaz ve yarı iletken özel malzeme gazı. Özel malzeme gazı esas olarak epitaksi, katkılama ve aşındırma işlemlerinde kullanılır; yüksek saflıkta gaz ise esas olarak seyreltici gaz ve taşıyıcı gaz olarak kullanılır. Elektronik gaz, özel gazın önemli bir dalıdır.