Azot Triflorür NF3 Gazı
Ürün Açıklaması
Azot triflorür, NF3 kimyasal formülüne sahip inorganik bir bileşiktir. Oda sıcaklığında ve basıncında renksiz bir gazdır, suda çözünmez, güçlü bir oksitleyicidir ancak kimyasal özellikleri oldukça kararlıdır. Mikroelektronik endüstrisinde mükemmel bir plazma aşındırma gazıdır ve ayrıca yüksek enerjili bir yakıt olarak da kullanılabilir.
Tipik Uygulama
-
Yarı İletken ÜretimiTransistörlerin, entegre devrelerin ve diğer cihazların üretiminde, silikon levhaların yüzeyini temizlemek, organik ve inorganik safsızlıkları gidermek ve yüzeyin düz ve temiz olmasını sağlamak için azot triflorür kullanılır. -
Metal İşlemeAzot triflorür, metal yüzeylerin temizlenmesi ve kaplama hazırlığı için kullanılabilir. Metal yüzeyindeki yağ ve oksitleri etkili bir şekilde gidererek, sonraki işlemlerin zorluğunu azaltır. -
Yüksek Enerjili Kimyasal LazerlerAskeri ve bilimsel araştırma alanlarında, azot triflorür yüksek enerjili kimyasal lazerlerde flor kaynağı olarak kullanılmaktadır. -
Güneş Fotovoltaik EndüstrisiYüksek saflıkta azot triflorür, özellikle amorf silikon ince film güneş pillerinin üretiminde olmak üzere, ince film silikon güneş pillerinin üretiminde rol oynamaktadır.
Ürün İçeriği
Özellikler | %99,99 | %99,999 |
Karbon Tetraflorür | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Azot | ≤10 ppmv | ≤50ppmv |
Oksijen+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbon Monoksit | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbondioksit | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Azot Oksit | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Kükürt Heksaflorür | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Nem | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HF olarak ifade edin. | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Paketleme ve Nakliye
Ürün | Azot Triflorür NF3 | |
Ambalaj Boyutu | 47 Litrelik Silindir | Y-440Ltr Silindir |
Silindir Başına Net Dolum Ağırlığı | 20 kg | 200 kg |
20'lik konteynere yüklenen miktar | 200 Silindir | 6 Silindir |
Toplam Net Ağırlık | 4 Ton | 1,2 Ton |
Silindir Dara Ağırlığı | 52 kg | 680 kg |
Valf | CGA330/DISS640 | |
