Azot Triflorür NF3 Elektronik Gaz
Ürün Açıklaması
Azot triflorür, kimyasal formülü NF3 olan inorganik bir bileşiktir. Oda sıcaklığında ve basıncında renksiz bir gazdır, suda çözünmez, güçlü bir oksidandır ancak çok kararlı kimyasal özelliklere sahiptir. Mikroelektronik endüstrisinde mükemmel bir plazma aşındırma gazıdır ve ayrıca yüksek enerjili yakıt olarak da kullanılabilir.
Tipik Uygulama
- Yarıiletken Üretimi Transistör, entegre devre ve diğer cihazların üretiminde, silikon yongaların yüzeyini temizlemek, organik ve inorganik kirleri gidermek ve yüzeyin düz ve temiz olmasını sağlamak için azot triflorür kullanılır.
- Metal İşlemeAzot triflorür, metal yüzeylerin temizlenmesi ve kaplama hazırlanması için kullanılabilir. Metal yüzeyindeki yağı ve oksitleri etkili bir şekilde giderebilir ve sonraki işlemlerin zorluğunu azaltabilir.
- Yüksek Enerjili Kimyasal LazerlerAskeri ve bilimsel araştırma alanlarında azot triflorür, yüksek enerjili kimyasal lazerlerde flor kaynağı olarak kullanılır.
- Güneş Fotovoltaik EndüstrisiYüksek saflıktaki azot triflorür, ince film silisyum güneş hücrelerinin üretiminde, özellikle de amorf silisyum ince film güneş hücrelerinin imalatında rol oynamaktadır.
Paketleme ve Kargolama
Şartname | %99,99 | %99,999 |
Karbon tetraflorür | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Azot | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Oksijen+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbon Monoksit | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbondioksit | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Azot oksit | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Kükürt Hekzaflorür | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Nem | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HF olarak ifade edin | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Paketleme ve Kargolama
Ürün | Azot Triflorür NF3 | |
Paketleme Boyutu | 47Ltr Silindir | Y-440Ltr Silindir |
Dolum Net Ağırlığı/Silindir | 20 Kg | 200 Kg |
20'lik Konteynere Yüklenen Miktar | 200 Silindir | 6 Silindir |
Toplam Net Ağırlık | 4 Ton | 1.2 Ton |
Silindir Tara Ağırlığı | 52 Kg | 680 Kg |
Vana | CGA330/DISS640 |